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噴霧熱解成膜系統(tǒng)技術(shù)基本原理是將含有成膜成分的前驅(qū)體物質(zhì)制成溶液，然后在高壓下使其霧化，噴射到預(yù)熱的基材上，發(fā)生分解反應(yīng)，得到想要的薄膜材料；常用的高壓源通常為壓縮的空氣、氧氣、氮?dú)?、氫氣等?/p>
更新時(shí)間：2024-07-04
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