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UV紫外/EUV極深紫外激光光束質(zhì)量分析儀可實(shí)現(xiàn)高分辨率實(shí)時(shí)空間光束的監(jiān)測(cè)、定量表征與強(qiáng)度分布。用于所有脈沖或連續(xù)波激光器以及非相干光源，覆蓋極寬的光譜范圍從近紅外到軟X射線（光譜范圍~ 1 …. 1100 nm），檢測(cè)器CCD芯片上量子轉(zhuǎn)換涂層保證了UV/EUV檢測(cè)的高靈敏度。